スマートセンサーパッケージング 赤外線
クラス100のクリーンルームで、汚れを発生させずに熱を扱う方法
スマートセンサーを梱包する際は、非常に微妙なバランスが求められます。十分な熱が必要ですが、ワークピースにほんの少しのほこりでも付着してはいけません。クラス100の環境では、一般的な加熱素子はまるで時限爆弾のようです。それらは剥がれ落ち...
2.5D/3D ICパッケージングヒーター
2.5D/3Dパッケージング工程において、温度は単なる設定値ではなく、プロセスそのものと言える。アンダーフィルの流動、フォトレジストのソフトベーク、ダイとインターポーザのボンディングはすべて、熱の均一性と再現性に依存している。わずかなホットスポットや温度のずれが生じると、積層がずれ、ボイドが発生し...