超高純度水用加熱ランプ

ファブの現場では、ソフトベイク時に0.5℃の温度変動があるだけで、潜在的な欠陥がフォトレジストに残ってしまいます。また、ハードベイクの温度が均一でない場合、時間の損失だけでなく、製品全体が台無しになってしまいます。そのため、加熱要素は何シフトにもわたり、何時間にもわたって安定して機能しなければなり...