ファブレーションランプ用クォーツガラスシールド

ファブ内では、フォトレジストのベイク性能は議論の余地がなく、ナノメートル単位で測定されます。0.5℃のずれだけでも、重要な寸法制御に影響を与え、それによって多くのウェーハが損失してしまいます。そのため、ファブ内のランプには石英ガラス製のシールドが装着されており、そうしたズレが発生する前に防ぐのです...