클래스 100 환경을 항상 깨끗하게 유지하기
클래스 100 환경에서 작업할 때는 미세한 먼지나 금속 조각 하나만 있어도 웨이퍼의 품질이 크게 저하됩니다. 정말 스트레스가 많은 상황입니다. 대부분의 가열 요소들은 고온이 되면 가스를 방출하거나 입자를 떨어뜨리기 때문에 문제가 됩니다.
그래서 우리는 적외선 램프에 고순도의 융합 석영을 사용합니다.
왜 석영이 적합한가요?
인공적으로 만들어진 융합 석영은 열에 강합니다. 저렴한 유리나 금속으로 만든 가열체는 극심한 열에 의해 손상되지만, 석영은 그런 일이 없습니다. 석영은 부서지지도 않고, 입자를 떨어뜨리지도 않습니다. 또한 화학적으로도 안정적이어서 공기나 기판과 반응하지 않습니다. 따라서 과도한 금속 오염이 발생할 걱정도 없습니다. 석영은 단순히 자신의 역할만 수행할 뿐입니다.
적절한 열을 제공하는 방법
우리는 단파 복사를 사용합니다. 목표는 열을 정확히 필요한 곳에만 전달하여 주변 공기가 과도하게 가열되는 것을 막는 것입니다. 이렇게 하면 HVAC 시스템도 더 이상 과도하게 작동할 필요가 없어집니다.
원하는 열 밀도에 맞게 와트수와 길이를 선택할 수 있습니다. 성능도 매우 빠르게 향상됩니다. 하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 높은 와트수는 강한 열을 의미합니다. 적절한 냉각 장치가 없다면 열충격이 발생할 수 있습니다. 또한, 장착 브라켓도 반드시 가스를 방출하지 않는 재료로 만들어져야 합니다. 그렇지 않으면 다시 오염이 발생할 수 있습니다.
설치는 간단합니다
우리는 정밀하게 맞춰진 커넥터를 사용하여 전기적 누설을 막습니다. 이렇게 하면 아크가 발생하지 않으며, 오존도 대기에 영향을 미치지 않습니다.
가장 좋은 점은 이러한 부품들이 간단하게 교체될 수 있다는 것입니다. 램프가 고장나더라도 석영은 그대로 남아 있습니다. 파편도, 먼지도, 청소 작업도 필요 없습니다. 그냥 교체해주면 바로 다시 작업을 시작할 수 있습니다.