벽을 가열하는 것을 그만두세요: 더 효과적인 건조 방법
반도체 건조 장비를 다룬 경험이 있다면, “고온의 벽”이라는 문제를 잘 알고 있을 것입니다. 일반적인 대류식 히터나 모든 방향으로 열을 방출하는 히터를 사용할 경우, 기계 내부의 벽들은 마치 거대한 스펀지처럼 열을 흡수하게 됩니다.
이는 매우 문제가 되는 상황입니다. 작업자들은 화상을 입을까 봐 걱정해야 하며, 과도한 열로 인해 기계의 내부 부품들이 손상될까 봐 계속 걱정해야 합니다. 이는 에너지 낭비일 뿐만 아니라 안전상의 위험도 초래합니다.
해결책은 사실 매우 간단합니다. 모든 곳을 가열하는 것을 그만두고, 방향성 있는 적외선을 사용하는 것입니다.
실제 작동 원리
일반적인 히터는 360도로 열을 방출합니다. 하지만 좁은 건조 챔버에서는 그 열이 웨이퍼에 닿지 않고 그냥 기계의 바디에만 전달됩니다. 우리는 금으로 코팅된 반사체가 달린 단파 적외선 램프를 사용합니다. 이렇게 하면 열이 특정 방향으로 집중되어 웨이퍼에 직접 전달됩니다.
그 결과, 열이 원하는 곳에 정확하게 전달됩니다. 벽들도 열을 흡수하지 않으므로 차가운 상태를 유지할 수 있습니다.
안전성과 주의점
열이 집중되기 때문에 기계의 외부는 과열되지 않습니다. 그래서 복잡한 냉각 시스템이나 두꺼운 절연재는 필요 없습니다. 그저 피부에 닿아도 안전할 정도로만 온도를 조절하면 됩니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 이러한 램프들은 매우 강력하기 때문에, 초점 부분의 열량이 매우 높습니다. 웨이퍼가 몇 밀리미터만 비틀어져도 해당 부분이 과열될 수 있습니다. 그러므로 단순히 설정만 해놓고 방치해서는 안 됩니다. PLC를 정확하게 조절하여 열을 제어해야 합니다. 그렇지 않으면 웨이퍼가 손상될 수 있습니다.
이것이 왜 중요한가요?
벽을 가열하는 것을 그만두면 몇 가지 좋은 점이 있습니다. 첫째, HVAC 시스템이 방의 온도를 유지하기 위해 그렇게 많은 에너지를 사용할 필요가 없습니다. 게다가, 작업 시작까지 걸리는 시간도 훨씬 줄어듭니다. 이렇게 하면 더 빠른 처리 속도와 더 시원한 기계, 그리고 훨씬 적은 스트레스를 얻을 수 있습니다.