에너지 절약형 반도체 히팅
왜 우리가 전통적인 오븐 대신 적외선을 사용하는가?
솔직히 말해서, 전통적인 대류식 오븐은 정말 불편합니다. 그건 사실상 엄청난 양의 에너지를 낭비하는 거대한 ‘뜨거운 상자’에 불과합니다. 웨이퍼를 건조시키기 위해 엄청난 양의 공기를 가열해야 하고, 그 공기가 제대로...
공장 건조 공정의 에너지 감사
벽을 가열하는 것을 그만두세요: 더 효과적인 건조 방법
반도체 건조 장비를 다룬 경험이 있다면, “고온의 벽”이라는 문제를 잘 알고 있을 것입니다. 일반적인 대류식 히터나 모든 방향으로 열을 방출하는 히터를 사용할 경우, 기계 내부의 벽들은 마치 거대한 스펀지처럼 열...
에너지 효율적인 웨이퍼 가열기
와이어 처리 시스템에서 발생하는 열 손실을 막으세요.
일반적인 적외선 히터의 문제점은 에너지가 누수된다는 것입니다. 에너지의 상당 부분이 기계의 본체 안으로 사라져버리고, 실제로 웨이퍼에 전달되지 않습니다. 반도체 처리 과정에서 이러한 에너지 낭비는 큰 문제가 됩니다...