와이어 처리 시스템에서 발생하는 열 손실을 막으세요.
일반적인 적외선 히터의 문제점은 에너지가 누수된다는 것입니다. 에너지의 상당 부분이 기계의 본체 안으로 사라져버리고, 실제로 웨이퍼에 전달되지 않습니다. 반도체 처리 과정에서 이러한 에너지 낭비는 큰 문제가 됩니다.
그래서 우리는 금으로 코팅된 반사체를 사용합니다. 듣기에는 복잡해 보이지만, 그 목적은 간단합니다. 바로 모든 에너지가 웨이퍼에 도달하도록 하는 것입니다.
왜 금을 사용할까요?
대부분의 사람들은 알루미늄을 사용합니다. 비용이 저렴하기 때문이죠. 하지만 알루미늄은 장파 적외선 영역의 에너지를 너무 많이 흡수하는 경향이 있습니다. 반면 금은 그런 적외선 에너지의 98% 이상을 반사합니다.
히터 내부를 금으로 코팅하면, 열이 빠져나가는 ‘무용지물’이 되는 부분들이 사라집니다. 에너지가 집중되어 원하는 온도를 얻을 수 있습니다. 그 결과, 전력 공급 장치의 부담도 줄어듭니다.
열을 원하는 곳에 전달하기
와이어 히터를 설정할 때는 균일한 가열이 중요합니다. 열이 고르게 분포해야 하며, 그 속도도 빨라야 합니다.
금으로 코팅된 반사체는 빛의 방향을 좁혀줍니다. 그래서 에너지가 정확하게 기판에 전달되어 온도 상승 속도가 훨씬 빨라집니다. 또한, 기계의 다른 부분도 더 시원하게 유지되어 하드웨어에 가해지는 부담도 줄어듭니다.
단점
하지만 금도 완벽하지는 않습니다. 금은 얇은 층에 불과하기 때문입니다.
부식성 가스나 마모성 입자가 있는 환경에서는 그 코팅이 긁히거나 벗겨질 수 있습니다. 코팅이 손상되면 반사율이 떨어지고 전기 요금도 오르게 됩니다. 따라서 챔버의 밀폐 상태를 잘 유지해야 합니다. 그렇게 하면 금 코팅도 안전하게 유지됩니다.
실제 현장에서의 팁
금으로 코팅된 반사체를 사용하면, 필요한 전력량을 줄여도 여전히 원하는 생산 속도를 유지할 수 있습니다. 전력 공급 장치에도 부담이 줄어듭니다.
또한, 300mm 웨이퍼의 가열 패턴이 고르지 않다면, 단순히 램프의 전력을 높이는 것은 효과가 없습니다. 문제는 보통 반사의 형태에 있습니다. 금으로 코팅된 반사체를 사용하면 열 분포가 개선되어 문제가 해결됩니다.