도구를 가열하는 것을 그만두고, 대신 웨이퍼를 가열하세요.
웨이퍼를 가열할 때는 에너지가 오직 기판에만 전달되어야 합니다. 다른 곳으로 에너지가 새어 나가서는 안 됩니다.
일반적인 적외선 램프의 문제점은 열이 사방으로 퍼진다는 것입니다. 이로 인해 비싼 장비의 내부 벽면이 너무 뜨거워져서 작업자가 화상을 입거나, 더 심각한 경우에는 값비싼 부품들이 손상될 수 있습니다.
그래서 우리는 방향성 있는 가열 방식을 사용합니다.
물리학적 원리
일반적인 석영 램프는 마치 큰 반구 형태로 빛을 발산하는 전구와 같습니다. 이 문제를 해결하기 위해, 우리는 특수한 반사체와 코팅을 사용하여 열을 한곳으로 집중시킵니다. 그 결과, 웨이퍼에 정확하게 열이 전달되고, 장비의 본체는 여전히 차가운 상태를 유지합니다. 이렇게 하면 훨씬 더 깔끔하게 작업할 수 있습니다.
적절한 거리 찾기
고출력 램프를 그냥 표면에 바로 접촉시키면 안 됩니다. 그렇게 하면 과열이 발생할 수 있습니다.
여기에는 적절한 균형이 필요합니다. 램프가 너무 가까우면 열 밀도가 너무 높아져서 장비가 견디지 못합니다. 반대로 너무 멀리 떨어뜨리면 에너지가 낭비되고 효율성이 떨어집니다.
우리는 램프의 출력과 웨이퍼가 얼마나 많은 열을 반사하는지를 고려하여 적절한 거리를 결정합니다. 램프를 가까이 가져오면 열이 더 강하고 빠르게 전달되지만, 냉각 시스템에 더 많은 부담이 가해집니다. 따라서 빠른 가열을 원하는지, 아니면 장비가 지속적인 열 스트레스를 받지 않도록 하는지를 결정해야 합니다.
타협점
물론 이것은 마법의 도구가 아닙니다. 단점도 있습니다.
열을 집중시킬수록, 넓고 “안전한” 가열 방식 대신 정밀한 가열이 가능해집니다. 하지만 정렬이 조금이라도 틀어지면 웨이퍼 전체에 열이 고르게 분포하지 않고, 특정 부분만 뜨거워집니다.
이것은 정밀도가 중요한 문제입니다. 그래서 기술자들은 장착 브라켓을 매우 세심하게 조절해야 합니다. 진동이 전혀 없어야 합니다. 램프가 흔들리면 공정이 실패합니다. 그렇게 간단합니다.