Pada garis ukuran 300 mm, perubahan suhu sebanyak setengah darjah Celsius semasa proses pemanasan bahan fotoresist sudah cukup untuk menyebabkan ketidaktepatan pada dimensi kritikal produk, sehingga seluruh kumpulan produk tersebut menjadi tidak layak digunakan. Kami telah mencipta pemanas berbahan karbon nanotube agar tingkah laku termalnya tetap stabil dari segi masa, tanpa sebarang masalah.
Apa yang penting di sebaliknya
Pemanas ini menggunakan elemen karbon nanotube, jadi ia dapat memberikan tindak balas yang cepat dan keadaan yang stabil. Ini memastikan keseragaman suhu pada permukaan wafer pada tahap ±0.1°C, serta memastikan ketepatan yang tinggi dalam proses pengulangan. Inilah yang memastikan profil pemanasan tetap konsisten dari satu kumpulan produk ke kumpulan produk yang lain.
Struktur pemanas ini menghasilkan sifar zarah, yang membolehkannya digunakan dalam bilik bersih tahap 1–100. Bahan-bahan yang digunakan juga dipilih agar kadar pelepasan gas tetap rendah walaupun dalam proses pemanasan yang berterusan. Dari segi praktikal, ini bermakna kurangnya kecacatan, kawalan dimensi yang lebih baik, dan prestasi termal yang boleh dipercayai.
Mengapa ini penting dalam proses litografi
Dalam proses litografi dan pemprosesan bahan fotoresist, profil termal bukan sekadar faktor latar belakang – ia merupakan sebahagian daripada proses itu sendiri. Pemanas ini memastikan bahawa lebar garisan, sudut dinding sisi, dan ketebalan lapisan yang tertinggal kekal dalam had yang ditetapkan. Dengan cara ini, wafer yang berkualiti tinggi tidak akan dibuang begitu saja untuk diproses semula.
Pemanas ini boleh beroperasi 24/7 tanpa gangguan yang tidak dijangka. Data dari lapangan menunjukkan tiada perubahan yang ketara dari masa ke masa, yang merupakan syarat yang diperlukan untuk pengeluaran secara besar-besaran. Oleh kerana ia bertindak balas dengan cepat, waktu tunggu menjadi lebih pendek, dan kos operasi untuk setiap wafer pun berkurangan.
Apa yang perlu dilakukan
Proses integrasinya mudah, tetapi elemen karbon nanotube mempunyai had suhu yang ketat serta kadar pemanasan yang dikawal dengan teliti. Anda perlu menyesuaikan parameter termal alat tersebut agar prestasi keseragamannya dapat dicapai sepenuhnya.
Lakukan ujian pendek untuk menentukan tetapan PID yang sesuai dan memastikan semua mod proses berfungsi dengan baik.