Op de afdeling voor lithografie leer je snel dat temperatuur geen detail is – het is juist een essentieel onderdeel van het proces. Als de temperatuur zelfs maar één graad verschilt, kan dit leiden tot problemen met de nauwkeurigheid van de afmetingen. Als je de temperatuur te hoog instelt, ontstaan er problemen met het fotorezistentmateriaal en kunnen er oneffenheden op de randen van het oppervlak ontstaan. Dit leidt dan weer tot extra kosten en herwerkwerk. Op de afdelingen waar het fotorezistentmateriaal wordt aangebracht en verwerkt, is thermische prestatie geen luxe – het is juist een vereiste.
Wat technisch gezien belangrijk is We hebben onze infraroodverwarmers zo ontworpen dat ze passen bij de thermische vereisten van geavanceerd fotorezistentmateriaal. De korte golflengten van het infrarode licht zorgen er namelijk voor dat de hitte rechtstreeks in het fotorezistentmateriaal terechtkomt. Hierdoor kan de temperatuur snel worden verhoogd, zonder dat er stressontwikkeling optreedt op het siliciumoppervlak. Er wordt een uniformiteit van ±0,1°C behaald over het hele oppervlak, en de nauwkeurigheid blijft consistent, zelfs na duizenden cycli.
Het systeem is compatibel met kamers van klasse 1 tot klasse 100. De architectuur is zo opgezet dat er geen deeltjes op het siliciumoppervlak terechtkomen. Geen uitstoot van stoffen en een verzegeld verwarmingselement zorgen er ook voor dat er geen vervuiling optreedt tijdens het verhitten van het materiaal. In praktijk betekent dit dat het systeem 24/7 beschikbaar is, zonder onverwachte stilstanden. Bovendien wordt er minder energie verbruikt, omdat de verwarmers zich snel kunnen herstellen tussen verschillende productiesessies.
Waarom het werkt Op de afdelingen waar het fotorezistentmateriaal wordt aangebracht en verwerkt, moet de temperatuur precies volgens het voorschrift worden gehouden. Met deze infraroodverwarmers blijft de temperatuur stabiel, waardoor de nauwkeurigheid van de afmetingen gewaarborgd blijft. Hierdoor kan het proces sneller verlopen, zonder dat dit ten koste gaat van de kwaliteit van het product. Ook zijn er minder storingen, omdat de verwarmers koel blijven terwijl de energie precies daar terechtkomt waar het nodig is: in het fotorezistentmateriaal.
Dingen om te weten De verwarmers passen in de meeste systemen voor het aanbrengen en verwerken van fotorezistentmateriaal. Echter, de afmetingen en manier van bevestigen verschillen per systeem. Controleer eerst de mechanische specificaties en de route van het koelmiddel voordat je de verwarmers installeert. Plan ook een kort testproces na de installatie.
Als je in een vochtige omgeving werkt, let dan goed op de dichtheid van de verbindingen. We bieden richtlijnen om ervoor te zorgen dat de elektrische verbindingen droog en stabiel blijven.