Por que estamos mudando para o processo de cura por radiação infravermelha no processamento de wafers
Sejamos honestos: ninguém gosta de lidar com métodos de secagem baseados em solventes ou com aqueles catalisadores químicos complicados. No nosso mundo, “ecologicamente correto” não é apenas um slogan publicitário que colocamos em folhetos. É uma exigência importante na maneira como criamos nossas ferramentas. É por isso que usamos a radiação infravermelha para a cura dos materiais. Ela utiliza radiação eletromagnética para realizar a polimerização ou evaporação dos materiais, sem causar todo esse caos adicional.
Como funciona a física por trás disso
Pense em um forno convencional. Ele precisa primeiro aquecer o ar, o que é lento e ineficiente. A radiação infravermelha é diferente. A energia vai direto para a superfície do wafer. Isso é uma grande vantagem, pois podemos eliminar esses sistemas complexos de circulação de ar. Você sabe, aqueles sistemas que sempre liberam partículas nocivas ou precisam de filtros caros e frequentes. Nós focamos nas faixas de absorção específicas do revestimento. Colocamos o calor exatamente onde ele é necessário, e em mais nenhum lugar. Isso economiza muita energia.
Limpeza do processo
Os métodos tradicionais de cura geralmente envolvem solventes tóxicos e estabilizantes à base de chumbo. Com a radiação infravermelha, podemos parar de usar essas substâncias químicas. Como o calor é aplicado instantaneamente, podemos usar resinas sem halogênios, que se curam com luz UV ou calor. É uma maneira muito mais limpa de trabalhar. O wafer fica seco, e não há emissão de gases tóxicos na sala limpa. É simplesmente mais seguro.
Os desafios
Mas não é tudo perfeito. As lâmpadas de radiação infravermelha de alta intensidade geram muito calor. Isso é ótimo para acelerar o processo de cura, mas é preciso controlar esse calor. Se as placas de resfriamento não forem adequadas, você terá problemas. Pode haver deformação do wafer ou pontos quentes perigosos. É preciso ter cuidado. É preciso equilibrar a potência da lâmpada com a massa térmica do wafer, para não queimar suas bordas acidentalmente. Projetamos esses sistemas para substituir os antigos sistemas de convecção. Você verá que o espaço ocupado é menor, e suas contas de energia diminuirão. Apenas certifique-se de que seus sensores estejam configurados corretamente, pois o processo de aquecimento acontece rapidamente. Muito rapidamente.