Как предотвратить разрушение чистой комнаты класса 100 из-за озона
Бывало ли у вас, что сигналы тревоги из-за озона срабатывали без явных причин? Это настоящий кошмар.
Большинство стандартных инфракрасных ламп вызывают нежелательную реакцию: они способствуют образованию озона ($\text{O}_3$) в воздухе. В условиях чистой комнаты класса 100 это катастрофа. Озон разрушает чувствительные полимеры и мешает процессу допирования полупроводников. По сути, это невидимый загрязнитель, который незаметно разрушает все ваши усилия.
Мы нашли способ этому противостоять. Используя высокочистый синтетический кварц и фильтруя определенные длины волн, мы сохраняем тепло, но устраняем озон.
На самом деле всё довольно просто.
Озон образуется, когда к молекулам кислорода попадает коротковолновое УФ-излучение (длина волны менее 240 нм). Чтобы предотвратить эту реакцию, мы используем лампы, работающие в диапазоне средних и длинных волн инфракрасного излучения.
Мы используем кварцевые трубки, которые служат своего рода защитным экраном, блокирующим коротковолновое излучение. Вы получаете всю необходимую тепловую энергию для процессов отверждения или сушки, но без образования озона.
Все зависит от материалов.
Мы используем кварц, в котором практически нет примесей. Почему? Из-за процесса «выделения газов». Когда дешевая лампа достигает рабочей температуры, она может выделять содержащиеся в ней газы. Если вы работаете в условиях абсолютной чистоты, то не может быть никаких частиц, выпадающих с поверхности лампы.
Чтобы избежать этого, мы полируем кварц. Это устраняет микроскопические трещины на поверхности, что позволяет сохранять чистоту.
Еще один момент: эти лампы имеют компактные размеры, поэтому их можно легко установить в существующую систему. Они выделяют много тепла в небольшом объеме. Поэтому необходимо, чтобы вентиляторы эффективно охлаждали лампы. Если поток воздуха слабый, лампы могут перегреться, что приведет к повреждению уплотнений.
Применение.
Эти лампы можно использовать в качестве замены обычным инфракрасным нагревателям. Вы получаете ту же скорость нагрева, но сигналы тревоги из-за озона больше не срабатывают.
Эти лампы рассчитаны на круглосуточную работу. Единственное требование — поддерживать стабильное напряжение. Всплески напряжения могут повредить лампу. Если напряжение будет стабильным, лампы будут работать без проблем.