ในขั้นตอนการอบวัสดุ ความสำเร็จในการผลิตขึ้นอยู่กับขั้นตอนนี้โดยตรง การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 2 องศาเซลเซียสก็สามารถส่งผลต่อมิติสำคัญของวัสดุได้...

ในห้องปฏิบัติการผลิตชิป แม้ว่าอุณหภูมิจะเปลี่ยนแปลงเพียงครึ่งองศาเดียว ก็สามารถทำให้ความสม่ำเสมอของฟอโตรีซิสต์เสียหายได้...