Litografide çalışırken hızla anlarsınız ki sıcaklık sadece bir detay değil; asıl önemli olan şey süreçtir. Eğer sıcaklık bir derece bile değişirse, kritik boyut kontrolü bozulur. Eğer sıcaklığı daha yüksek seviyede tutarsanız, fotoresistte problemler ortaya çıkar ve bu da atık üretimine yol açar. Kaplama/developman işlemlerinde termal performans bir konfor özelliği değildir; bu, işin gereğidir.
Teknik Açıdan Önemli Olanlar Kaplama/developman işlemleri için kullandığımız kızılötesi ısıtıcıları, gelişmiş fotoresistlerin termal ihtiyaçlarına uyacak şekilde tasarladık. Kısa dalga boylu kızılötesi elementler, ısıyı doğrudan fotoresise aktarır; böylece wafer üzerindeki stres azalır ve waferin her yerinde ±0,1°C’lik bir düzenlilik sağlanır. Binlerce işlem sonrasında bile ayarların sabit kalması mümkün olur.
Bu sistem, Class 1’den Class 100’e kadar olan tüm temiz oda koşullarıyla uyumludur. Ayrıca, wafer üzerinde parçacık oluşmasını engelleyecek şekilde tasarlanmıştır. Gaz salınımı olmayan malzemeler ve kapalı yapı sayesinde kaplama/developman işlemleri sırasında kirlenme engellenir. Pratikte bu, 24/7 güvenilirlik anlamına gelir ve ısıtıcı, her parti arasında hızla soğuduğundan enerji tüketimi de minimize edilir.
Neden İşe Yarıyor? Üretimde kaplama/developman işlemlerinde sıcaklık, odanın koşullarına göre değil, belirlenen formüle göre ayarlanmalıdır. Bu kızılötesi ısıtıcı sayesinde pişirme süreci stabil kalır; böylece kritik boyutlar düzenli kalır ve kenar bölgelerdeki sorunlar kontrol altında tutulur. Daha hızlı işlem süreleri elde edilir ve bakım gereksinimleri azalır. Çünkü ısıtıcı, enerjiyi doğru yere, yani fotoresise yönlendirir.
Bilinmesi Gerekenler Bu ısıtıcı, çoğu kaplama/developman sistemiyle uyumludur; ancak boyutları ve montaj yöntemleri modeline göre değişir. Montajdan önce mekanik boşlukları ve soğutma sistemini kontrol edin ve montajdan sonra kısa bir kalibrasyon işlemi yapın.
Eğer nemli ortamlarda çalışıyorsanız, konektörlerin sızdırmazlığına dikkat edin. Elektriksel bağlantının kuru ve stabil kalmasını sağlamak için gerekli talimatları veriyoruz.