Чому ми так приділяємо увагу тестуванню діелектричних властивостей під час виробництва пластин
Лампи, які використовуються для висушування пластин, створюють дуже високу температуру. Коли їх встановлюють у високотехнологічне обладнання для обробки полупровідників, цей рефлектор не лише відбиває світло – він ще й є важливою частиною електричного контуру.
Якщо ізоляція зламається, це може призвести до пошкодження контролера чи, що ще гірше, до зіпсованої партії пластин. Це справжній кошмар, якого ніхто не хоче.
Чому ми тестуємо кожну одиницю окремо
Ми не проводимо пробні тести на основі вибіркової перевірки. Це просто азартна гра. При такому підході можна пропустити лампу з непомітною тріщиною в кварці чи брудним електродом. Тож ми тестуємо кожну лампу та рефлектор окремо.
Принцип тестування полягає у тому, що ми піддаємо пристрій напрузі, значно вищій, ніж та, яка буде діяти на нього в реальних умовах. Ми намагаємося виявити будь-які приховані слабкі місця. Якщо є такі слабкі місця, ми хочемо, щоб вони проявилися саме у нашій лабораторії, а не у вашій чистій кімнаті. Ми також шукаємо протікання струму, яке може спричинити пробою між нагрівальним елементом та корпусом пристрою.
Проблеми, пов’язані з теплом
Лампи великої потужності створюють величезну кількість тепла в дуже маленькому просторі. Матеріали розширюються, зміщуються. Якщо ізоляція не розрахована на такі зміни, вона втрачає свою міцність. Ми використовуємо матеріали високої чистоти, адже саме вони здатні витримувати високі температури.
Корисна порада: переконайтеся, що заземлення корпусу пристрою є міцним. Навіть під час тестування погано заземлений пристрій може створювати „плаваючі потенціали“. З часом це може призвести до значного навантаження на ізоляцію лампи.
Реалії встановлення
Ці лампи розроблені для безпосереднього встановлення в пристрої для точного висушування пластин. Тolerанції є дуже строгими. Майже немає можливості для зміщення між гарячою зоною та корпусом пристрою.
Тож під час контролю якості ми надаємо пріоритет безпеці перед швидкістю. Так, тестування кожної одиниці займає більше часу. Але це ціна, яку потрібно заплатити, щоб уникнути катастрофічних наслідків через коротке замикання під час виробництва.