Hãy ngừng lãng phí nhiệt trong các hệ thống sưởi ấm dùng để xử lý wafer đi!
Vấn đề với các bộ sưởi ấm bằng tia hồng ngoại thông thường là chúng có xu hướng để nhiệt thoát ra ngoài thay vì được sử dụng hiệu quả. Trong quy trình xử lý chất bán dẫn, việc lãng phí năng lượng như vậy thực sự là một vấn đề nghiêm trọng.
Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng các tấm phản xạ được phủ vàng. Nghe có vẻ phức tạp, nhưng mục đích thì rất đơn giản: chúng ta muốn mỗi watt năng lượng đều được sử dụng để làm nóng wafer, chứ không phải để làm nóng các bộ phận khác của máy.
Tại sao lại chọn vàng?
Hầu hết mọi người chỉ sử dụng nhôm. Đúng là nhôm rẻ tiền, nhưng nó có xu hướng hấp thụ quá nhiều năng lượng trong dải tia hồng ngoại. Vàng thì khác; nó có khả năng phản xạ hơn 98% năng lượng trong dải tia hồng ngoại này. Khi chúng ta sử dụng tấm phản xạ bằng vàng, những khu vực mà nhiệt thường bị thoát ra ngoài sẽ biến mất. Năng lượng được tập trung vào wafer, giúp duy trì nhiệt độ mong muốn mà không cần tăng công suất máy.
Làm sao để nhiệt được truyền đến đúng nơi cần thiết?
Khi thiết lập hệ thống sưởi ấm cho wafer, điều quan trọng nhất là đảm bảo sự đồng đều về nhiệt độ. Vàng giúp tập trung năng lượng vào điểm cần sưởi ấm, giúp nhiệt độ tăng lên nhanh hơn. Ngoài ra, việc sử dụng vàng còn giúp giữ cho các bộ phận khác của máy ở trạng thái mát mẻ, từ đó giảm áp lực lên các bộ phận máy móc.
Nhược điểm
Tuy nhiên, vàng cũng không phải là vật liệu bất khả chiến bại. Đó chỉ là một lớp mỏng thôi. Nếu bạn làm việc trong môi trường có khí ăn mòn hoặc các hạt mài mòn, lớp phủ vàng có thể bị trầy xước hoặc bong tróc. Khi đó, khả năng phản xạ năng lượng của vàng sẽ giảm, dẫn đến việc tiêu thụ điện năng tăng lên. Bạn cần đảm bảo rằng buồng máy được kín khít, tránh để bụi bẩn xâm nhập vào, như vậy lớp phủ vàng mới có thể hoạt động tốt.
Lời khuyên dành cho những người làm việc trong xưởng sản xuất
Nếu bạn chuyển sang sử dụng tấm phản xạ bằng vàng, bạn có thể giảm công suất máy mà vẫn đảm bảo được mức nhiệt độ mong muốn. Điều này giúp giảm áp lực lên hệ thống cung cấp điện. Nếu bạn gặp vấn đề với việc phân bố nhiệt không đồng đều trên wafer kích thước 300mm, đừng cố gắng tăng công suất máy. Cách này hiếm khi mang lại hiệu quả. Vấn đề thường nằm ở cách phản xạ năng lượng. Hãy sử dụng hệ thống phản xạ bằng vàng – nó sẽ giúp giải quyết vấn đề này một cách hiệu quả.