Hãy ngừng việc sưởi ấm các dụng cụ đi – và hãy tập trung năng lượng vào việc sưởi ấm các wafer thay vì vậy.
Khi bạn sưởi ấm các wafer, bạn muốn toàn bộ năng lượng được chuyển vào chính bề mặt của wafer đó. Bạn không muốn năng lượng bị tỏa ra khắp nơi khác.
Vấn đề với các bóng đèn hồng ngoại thông thường là chúng phát ra nhiệt lượng ra mọi hướng. Điều này gây ra nhiều rắc rối. Chẳng mấy chốc, các bức tường bên trong thiết bị đắt tiền của bạn sẽ nóng đến mức có thể làm bỏng người vận hành, hoặc tệ hơn nữa, làm biến dạng các bộ phận nhạy cảm mà bạn đã chi rất nhiều tiền để mua chúng.
Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng phương pháp sưởi ấm có hướng.
Cách thức hoạt động của phương pháp này:
Hãy tưởng tượng một bóng đèn thạch anh thông thường như một bóng đèn chiếu sáng trong một góc rộng. Để khắc phục điều này, chúng ta sử dụng các bộ phản xạ và lớp phủ đặc biệt, giúp tập trung năng lượng hồng ngoại thành một chùm sáng hẹp, được chiếu trực tiếp vào wafer. Vì chùm sáng này rất hẹp, nên ít nhiệt lượng lạc ra các bức tường của buồng sưởi. Nhờ đó, wafer có thể đạt được nhiệt độ mong muốn, trong khi thân máy vẫn giữ được độ mát. Đây là cách làm việc hiệu quả hơn nhiều.
Tìm ra khoảng cách lý tưởng:
Bạn không thể đặt bóng đèn công suất cao ngay sát bề mặt wafer được. Nếu làm vậy, bạn sẽ gặp phải tình trạng quá nhiệt. Cần có sự cân bằng nhất định: nếu bóng đèn quá gần, mật độ nhiệt sẽ quá cao, khiến bộ phận giữ bóng đèn không thể chịu đựng nổi. Nhưng nếu đặt bóng đèn quá xa, bạn sẽ lãng phí năng lượng và giảm hiệu quả sưởi ấm.
Chúng ta xác định khoảng cách lý tưởng bằng cách xem xét công suất của bóng đèn và mức độ phản xạ ánh sáng của wafer. Việc di chuyển bóng đèng gần hơn sẽ khiến nhiệt lượng tác động mạnh hơn, nhưng đồng thời cũng tạo ra áp lực lớn lên hệ thống làm mát. Bạn cần quyết định xem mình muốn quá trình sưởi ấm diễn ra nhanh hay muốn giữ cho thân máy luôn ở trạng thái mát mẻ.
Sự hy sinh cần chấp nhận:
Đây không phải là giải pháp hoàn hảo. Có những hạn chế nhất định. Khi bạn tập trung năng lượng vào một điểm cụ thể, bạn sẽ phải hy sinh khả năng sưởi ấm rộng rãi và an toàn. Nếu việc căn chỉnh không chính xác, bạn sẽ gặp phải tình trạng nhiệt độ không đồng đều trên bề mặt wafer.
Đây là một cuộc chơi về độ chính xác. Vì vậy, các kỹ thuật viên cần phải chú ý rất kỹ đến việc lắp đặt bóng đèn. Không được để bóng đèn rung động. Nếu bóng đèn rung, quy trình sưởi ấm sẽ thất bại. Đơn giản vậy thôi.