Tại sao chúng ta lại quan tâm đến việc kiểm tra tính cách điện của các bóng đèn dùng trong quá trình xử lý wafer
Các bóng đèn dùng trong quá trình xử lý wafer phải chịu áp lực nhiệt rất lớn. Khi những bóng đèn này được sử dụng trong các thiết bị bán dẫn cao cấp, bộ phận phản xạ ánh sáng không chỉ có chức năng phản chiếu ánh sáng mà còn đóng vai trò quan trọng trong việc dẫn truyền dòng điện.
Nếu lớp cách điện bị hỏng, hậu quả có thể là bo mạch điều khiển bị hư hỏng, hoặc tệ hơn nữa, cả lô wafer đều bị hủy hoại. Đó là điều mà không ai muốn xảy ra.
Tại sao chúng ta kiểm tra từng chiếc bóng đèn một
Chúng tôi không áp dụng phương pháp lấy mẫu ngẫu nhiên. Đó chỉ là cách chơi xúc xắc mà thôi. Việc lấy mẫu có thể bỏ sót những chiếc bóng đèn có vết nứt nhỏ hoặc điện cực bẩn. Thay vào đó, chúng tôi kiểm tra từng bóng đèn và bộ phận phản xạ ánh sáng thông qua các bài kiểm tra độ cách điện. Tất cả đều được kiểm tra kỹ lưỡng.
Cách thức kiểm tra như sau: chúng tôi áp dụng một điện áp cao hơn nhiều so với mức điện áp mà bóng đèn sẽ gặp trong môi trường thực tế. Mục đích là để kiểm tra xem liệu có điểm yếu nào ẩn giấu hay không. Nếu có điểm yếu, chúng tôi muốn phát hiện ra nó ngay tại xưởng của mình, chứ không phải trong phòng sản xuất sạch của khách hàng. Chúng tôi cũng kiểm tra xem có dòng điện rò rỉ nào có thể gây ra hiện tượng cháy nổ giữa bộ phận gia nhiệt và vỏ máy hay không.
Đối phó với áp lực nhiệt
Các bóng đèn công suất cao tạo ra lượng nhiệt cực lớn trong một không gian nhỏ. Các vật liệu sẽ giãn nở, và nếu lớp cách điện không đủ chắc chắn, nó sẽ mất đi khả năng cách điện. Chúng tôi sử dụng các vật liệu có chất lượng cao vì chúng có thể chịu được áp lực nhiệt lớn.
Một mẹo nhỏ: hãy đảm bảo rằng hệ thống nối đất của máy móc được vững chắc. Ngay cả khi chúng tôi đã kiểm tra kỹ lưỡng, nếu hệ thống nối đất kém, máy móc vẫn có thể tạo ra điện áp không ổn định. Điều này sẽ gây áp lực lớn lên lớp cách điện của bóng đèn.
Thực tế về việc lắp đặt
Các bóng đèn này được thiết kế để lắp đặt ngay vào các thiết bị xử lý wafer chính xác. Độ chính xác trong việc lắp đặt rất cao. Gần như không có chỗ trống nào giữa vùng nóng và khung máy.
Vì vậy, trong quá trình kiểm tra chất lượng, chúng tôi ưu tiên an toàn hơn là tốc độ. Đúng là việc kiểm tra từng chiếc bóng đèn mất nhiều thời gian hơn, nhưng đó là cái giá phải trả để tránh những sự cố nghiêm trọng do chập điện xảy ra trong quá trình sản xuất.