
想想热空气的原理吧。首先需要加热空气,然后再等待这些热空气去加热工件。在半导体加工领域,这种等待过程实在是非常浪费时间的,会严重影响生产效率。
正因如此,我们才使用红外线发射器。与其让空气来传递热量,不如直接用辐射热来加热目标物体。这种方式效率更高。这也是为什么越来越多的高精度生产线选择使用红外线发射器的原因。
关键在于陶瓷端盖。 红外线发射器的性能取决于其连接处的质量。我们使用陶瓷端盖来确保加热元件与电气引线之间的良好连接。为什么选择陶瓷呢?因为即使在极高温的情况下,陶瓷也不会变形或熔化。
实际上,陶瓷端盖就像一堵墙,可以防止热量渗透到电路中。如果没有陶瓷端盖,热量就会回流到电路中,从而导致绝缘层损坏,进而引发意外停机。没人希望这种情况发生。
不过,从强制对流加热转向红外线加热并非那么简单。因为红外线加热会带来更高的热密度,这会给硬件带来很大的压力。而陶瓷端盖则能确保石英管保持密封状态,同时维持稳定的电气连接,即便在温度急剧变化的情况下也是如此。
有一点需要记住:安装位置非常重要。如果安装位置有丝毫偏差,就会导致晶圆上的某些区域无法被充分加热。
最大的好处是什么?那就是时间上的节省。 最棒的是,你不再需要等待腔体达到稳定温度。只要启动红外线发射器,能量就会立即传递出去,你可以立刻开始下一步操作。这样一来,每小时的加工量就会大幅增加。不过需要注意的是,你的冷却系统必须能够处理从工件反射回来的热量。否则,传感器就有可能被烧毁。