停止在晶圆加热系统中浪费热量
传统红外加热器存在一个严重问题：它们会有能量泄漏。大量能量白白浪费在机器的机壳上，而无法用于加热晶圆。在半导体加工过程中，这种能源浪费简直就是一场噩梦。
因此，我们采用镀金反射器。虽然听起来很高端，但目的其实很简单：让每一瓦特的能量都能作用于晶圆上，而不是被机器的墙壁吸收掉。
为什么要用黄金？
大多数人选择使用铝作为反射材料，因为铝的价格便宜。但实际上，铝容易吸收长波红外线中的大量能量。而黄金则不同——它能反射超过98%的红外线能量。当我们用黄金来包裹加热器时，那些热量容易泄漏的区域就消失了。这样一来，能量就能集中起来，从而实现所需的表面温度，同时也不需要提高电源的输出功率。
让热量精准地作用于目标区域
在设置晶圆加热器时，我们需要确保热量分布均匀且快速。镀金反射器可以缩小光束的角度，这样热量就能更精确地作用于晶圆上。此外，它还能让机器的其他部分保持低温，从而减轻硬件的负担。
注意点
不过，黄金并非完美无缺的。它只是一层薄薄的涂层而已。如果工作环境中存在腐蚀性气体或磨损性颗粒，这层涂层就有可能被刮伤或剥落。一旦涂层受损，其反射率就会下降，进而导致电力消耗增加。因此，必须确保腔体密封良好，避免杂质进入，这样才能保持涂层的完好无损。
给工厂的实际建议
如果改用镀金反射器，你实际上可以降低功率需求，同时仍能保持原有的生产速度。这样就能减轻电源的负担。另外，如果发现300毫米晶圆的加热效果不均匀，不要一味提高灯管的功率——那样往往没什么效果。问题通常出在反射器的结构上。换成镀金反射器吧，这样就能改善热分布，让一切恢复正常。