为何我们选择使用红外固化技术来处理晶圆
说实话，没人愿意处理那些基于溶剂的干燥方式或复杂的化学催化剂。对于我们来说，“环保”并非只是宣传语而已，而是设计工具时的重要标准。因此，我们选择使用红外固化技术。这种技术利用电磁辐射来触发聚合物的聚合反应或蒸发过程，从而避免产生多余的污染物。
物理原理究竟是如何工作的？
想象一下传统的对流式烤箱——它必须先加热空气，这一过程既缓慢又低效。而红外固化技术则不同，能量可以直接作用于晶圆表面。这样一来，我们就无需再使用那些复杂的通风系统了。你知道的，那种系统总会有颗粒物泄漏的问题，而且还需要频繁更换昂贵的过滤器。而红外固化技术则能精准地作用于涂层的特定吸收带，将热量准确地传递到需要的地方，从而节省大量能源。
减少污染
传统的固化工艺通常会使用含有大量挥发性有机化合物的溶剂以及含铅的稳定剂，这无疑会对环境造成危害。而使用红外固化技术后，我们就不再需要使用这些有害化学物质了。由于热量可以立刻传递到晶圆表面，我们可以使用不需要卤素的树脂，这些树脂可以通过紫外线或热量来固化。这种方式更加环保，因为不会产生有毒气体，也能确保工作环境的清洁安全。
需要注意的问题
当然，这并不是什么完美的解决方案。高强度的红外灯会产生相当大的热量，虽然这有助于加快晶圆的固化速度，但也需要妥善处理这些热量。如果冷却系统无法有效散热，就可能会出现晶圆变形或出现“热点”的问题。因此，我们必须小心调整灯的功率与晶圆的热容量之间的关系，以避免烧毁晶圆的边缘。我们设计的系统可以轻松替代原来的对流式烤箱，其体积更小，能耗也更低。不过，一定要确保传感器能够正常工作，因为升温速度非常快。