なぜクリーンルーム用のオーブンで対流加熱をIR加熱に置き換えるのか？ 半導体工場で働いたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。正確な温度制御が必要ですが、ほんの少しのほこりでもウェーハの品質を損なってしまいます。 長い間、私たちは従来の対流式オーブンを使ってきました。しかし、巨大な空間全体を温めてわずかなサブストレートだけを温めるのは、時間とエネルギーの無駄です。 そのため、私たちは赤外線加熱ランプを採用しました。空気が温まるのを待つ代わりに、赤外線が直接ウェーハに当たります。これにより、処理時間が短縮され、より効率的になります。 無駄を削減する 通常のオーブンを考えてみてください。エネルギーの大部分が、オーブンの内壁や内部の空間を温めるために使われています。これは非効率的です。 私たちは短波・中波の放射体を使用します。これにより、実際に処理する材料に直接熱を与えることができます。部屋全体の温度を上げる必要はなく、必要な部分だけを温めることができます。24時間365日工場を稼働させている場合、節約されるキロワット時は非常に大きな意味を持ちます。これは、生産性を損なうことなく、炭素排出量を削減する簡単な方法です。 清潔さを保つ クリーンルームでは、「十分であればいい」というわけにはいきません。ランプから異物が飛び出したり、奇妙なガスが放出されたりしてはいけません。 そのため、私たちは石英製のランプを使用します。このランプはガスを放出しません。また、非常に小さな空間に多くの熱を集中させることができます。つまり、より小さなオーブンを作成できるのです。そして、工場の責任者なら誰でも知っている通り、清潔に保つ必要のあるスペースが少なければ、管理もしやすくなります。 注意点とその対処法 ただし、古いヒーターを取り替えてすぐに使えるわけではありません。赤外線ランプは非常に強力です。 冷却システムを適切に設計しなければ、問題が発生します。実際、集中した熱によって筐体が変形したり、換気が不十分だと建物内の温度警告が鳴り続けることもあります。 また、ハードウェアだけでは不十分です。スマートな制御システムが必要です。私たちはヒーターにPIDコントローラーや温度計を組み合わせて使用し、目標温度を超えないようにしています。 これにより、敏感な部品が損傷するのを防ぎます。廃棄物が少なくなれば、上司も喜び、工場もより環境に優しくなります。