코팅기 개발용 적외선 히터

리소그래피 공정에서는 온도가 단순한 세부 사항이 아니라 핵심적인 요소라는 것을 빠르게 깨닫게 됩니다. 온도가 조금만 변해도 치명적인 결과가 발생할 수 있습니다. 가장자리 부분의 열처리 온도를 너무 높이면 포토레지스트에 문제가 생기고, 그로 인해 웨이퍼의 품질이 저하됩...