MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터
MEMS 웨이퍼 건조: 왜 적외선을 사용하는가?
MEMS 센서를 다룰 때는 매우 신중해야 합니다. 웨이퍼에 남아 있는 수분은 한 방울도 있어서는 안 되지만, 너무 강하게 가열하면 그 미세한 구조들이 파괴될 수 있습니다.
오랫동안 우리는 단순히 뜨거운 공기를 사용해 웨...
공장 건조 공정의 에너지 감사
벽을 가열하는 것을 그만두세요: 더 효과적인 건조 방법
반도체 건조 장비를 다룬 경험이 있다면, “고온의 벽”이라는 문제를 잘 알고 있을 것입니다. 일반적인 대류식 히터나 모든 방향으로 열을 방출하는 히터를 사용할 경우, 기계 내부의 벽들은 마치 거대한 스펀지처럼 열...