와이퍼 탈가스 적외선 히터

제조 공장에서는, 단 0.5도만큼의 온도 변동이 있어도 포토레지스트의 균일성이 깨집니다. 그러면 생산 라인이 멈추고, 생산 효율도 떨어집니다. 저희는 이러한 온도 변동을 사전에 방지하기 위해 웨이퍼 탈가스용 적외선 히터를 개발했습니다. 핵심은 무엇인가? 저희는 이 히...