快速响应型红外加热灯泡

在芯片制造过程中，光刻胶的烘烤步骤对温度控制有着严格的要求。如果烘烤温度偏差仅为2摄氏度，就足以导致关键尺寸发生变化，进而引发质量问题。因此，需要使用能够快速升温、保持恒定温度且不会产生杂质的加热装置。 关键在于内部结构 我们的红外加热器采用高纯度石英封装的短波卤素元件作为发热源。其响应时间不到...