涂层显影用红外加热器

在光刻生产中，人们很快就会明白：温度并非一个可以忽视的细节——它其实是整个工艺流程中的关键因素。如果烘烤温度有哪怕1度的偏差，那么产品的尺寸控制就会出问题。而如果在边缘区域使用过高的温度进行烘烤，那么就会产生光阻残留物和边缘凸起现象，这些都会导致产品报废或需要返工。在涂覆/显影装置中，热性能并非只...