UHP 超高纯度 加热灯
在热处理过程中保持洁净室的清洁度
如果您希望达到100级洁净标准,那您就必须要了解相关要求。哪怕是极微量的气体释放或来自加热元件的颗粒物,都可能破坏整个洁净环境。普通的红外灯根本无法满足这一要求——因为它们的表面存在杂质,且密封材料质量较差,因此无法有效实现洁净效果。
正因如此,我们才选择使用超高...
超纯水加热灯
在光刻车间里,软烘烤过程中的0.5°C温度变化就足以让潜在的缺陷嵌入光阻层中。而如果硬烘烤过程的温度分布不均匀,那么不仅会浪费时间,还会导致整批产品报废。因此,加热元件必须能够持续稳定地工作,无论是在不同的生产批次中,还是在不同时间内。
至关重要的因素 我们设计的超纯水加热灯基于可控的短波红外辐射...