节能型半导体加热器
为什么我们放弃传统烤箱,转而使用红外线固化技术? 说实话,传统的对流式烤箱实在效率低下。它们本质上就是巨大的加热箱,为了把芯片烘干,需要消耗大量的电力。必须先加热大量空气,等待其循环流动,然后才能确保热量能够准确作用于目标位置。这个过程既缓慢又繁琐,显然不符合“无铅制造”的环保理念。
正因如此,大...
工厂干燥系统的能源审计
停止让墙壁发热:更有效的干燥方式 如果您曾接触过半导体干燥设备,那么您一定知道“墙壁过热”这个难题。当使用传统的对流式加热器或向四周释放热量的加热器时,机器的内壁就相当于一个巨大的吸热体。
这种情况很糟糕:操作人员需要担心被烫伤的问题,同时还得时刻担心过高的温度是否会导致内部部件变形。这既浪费能源...
高效节能的晶圆加热器
停止在晶圆加热系统中浪费热量 传统红外加热器存在一个严重问题:它们会有能量泄漏。大量能量白白浪费在机器的机壳上,而无法用于加热晶圆。在半导体加工过程中,这种能源浪费简直就是一场噩梦。
因此,我们采用镀金反射器。虽然听起来很高端,但目的其实很简单:让每一瓦特的能量都能作用于晶圆上,而不是被机器的墙壁...