用于晶圆的精密红外传感器

停止浪费时间：为何红外加热比强制风冷更适用于晶圆加工 如果你曾在芯片制造厂工作过，那么一定体会过等待的痛苦。在半导体加工领域，人们正在逐渐放弃使用强制风冷方式，转而采用精确的红外加热技术。 归根结底，关键在于热量是如何传递到晶圆上的。强制风冷其实相当于一种对流式加热器——必须先让腔室内的每一立方英...