高效节能的晶圆加热器

停止在晶圆加热系统中浪费热量 传统红外加热器存在一个严重问题：它们会有能量泄漏。大量能量白白浪费在机器的机壳上，而无法用于加热晶圆。在半导体加工过程中，这种能源浪费简直就是一场噩梦。 因此，我们采用镀金反射器。虽然听起来很高端，但目的其实很简单：让每一瓦特的能量都能作用于晶圆上，而不是被机器的墙壁...