Im Bereich der Lithografie stellt ein HEATER, dessen Temperatur schwankt oder unregelmäßig ist, nicht nur ein Problem bei der Messung dar. Er stört außerdem die Kontrolle der thermischen Bedingungen und führt dazu, dass die Wafer als Wertlosware abgelehnt werden müssen. Wir haben unseren HEATER so konstruiert, wie es die Prozessingenieure wirklich benötigen: mit stabiler, wiederholbarer Temperatur direkt an der Sonde – und ohne Störungen im Reinraumumfeld.
Was technisch wichtig ist, ist das, was man messen kann. Der HEATER gewährleistet eine thermische Homogenität auf Waferebene von ±0,1°C. Dadurch bleiben die Profile für die Weich- und Hartbrennprozesse konstant – unabhängig von den Durchläufen. Der HEATER eignet sich für Reinräume der Klassen 1–100 und erzeugt keine Partikel. Das ist besonders wichtig, wenn es darum geht, die Qualität in sensiblen Prozessbereichen zu gewährleisten. Der HEATER ist für einen 24/7-Betrieb konzipiert – mit Zuverlässigkeitsdaten, die eine Ausfallzeit während des Produktionsprozesses ausschließen. Die Temperaturgenauigkeit bleibt hoch, sodass man keine Probleme mit Schwankungen hat, wenn man die Ausrüstung kalibriert.
Warum das im AFM-Prozess wichtig ist: Die Temperaturstabilität beeinflusst direkt die Interaktion zwischen Sonde und Probe sowie die Wiederholgenauigkeit der Messungen. Unser HEATER hält die eingestellte Temperatur ohne Überschreitung – dadurch sind die thermischen Bedingungen bei der Materialcharakterisierung und Defekterkennung vorhersehbar. Weniger Nachtests, kürzere Bearbeitungszeiten – und eine zuverlässige Kalibrierung, die nicht jedes Mal beeinträchtigt wird, wenn die Ausrüstung erwärmt wird. Effizienz entsteht durch eine saubere thermische Kopplung – weniger Abwärme und geringerer Kühlbedarf innerhalb der Ausrüstung.
Bevor Sie bestellen, vergleichen Sie bitte die mechanischen Eigenschaften sowie die elektrischen Anschlüsse mit den Anforderungen Ihrer AFM-Ausrüstung. Überprüfen Sie außerdem den Anschlusstyp, die Spannung sowie die Abmessungen. Der HEATER funktioniert am besten bei stabiler Umgebungstemperatur und sauberer Stromversorgung. Falls es in Ihrer Anlage starke Spannungsschwankungen gibt, sollten Sie einen lokalen Spannungskonditionierer verwenden. Planen Sie außerdem einen kurzen Testbetrieb ein, um die passenden Einstellungen für Ihren Prozess festzulegen.