Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Warum goldbeschichtete Reflektoren tatsächlich wichtig sind
Seien wir ehrlich bezüglich der Verarbeitung von Halbleiterwafern: Wenn Energie verschwendet wird, dann versagt die Konstruktion Ihres Systems.
Denken Sie an eine herkömmliche Quarzlampe – sie strahlt Energie in alle Richtungen aus, also in 360 Grad. Das bedeutet, dass die Hälfte der Leistung, für die Sie bezahlen, in die falsche Richtung geht – und somit die Luft hinter der Lampe erhitzt wird, anstatt die Waferoberfläche.
Wir haben eine Lösung gefunden: Durch das Aufbringen einer dünnen Schicht aus hochreinem Gold auf die Rückseite der Quarzkapsel wird die verschwendete Energie wieder dorthin gelenkt, wo sie hingehört.
Warum Gold?
Weil Gold besser mit Infrarotstrahlung umgehen kann. Für preisgünstige Anwendungen kann man Aluminium oder Silber verwenden – doch bei den extremen Temperaturen, die für die Bearbeitung der Wafer nötig sind, ist Gold die einzige geeignete Lösung.
Gold konzentriert den Wärmefluss. Das Ergebnis: Mehr Energie trifft auf die Waferoberfläche – doch Ihre Stromrechnung bleibt unverändert. Es ist einfach intelligenter.
Die Kompromisse – und wie wir damit umgehen
Wenn man mehr Energie in einen kleineren Raum bringt, wird es intensiv. Der innere Druck in der Lampe steigt. Um zu verhindern, dass die Lampe unter diesem Druck verbogen oder sogar zerplatzt, verwenden wir Quarz mit dicken Wänden. Solcher Quarz kann den Druck aushalten.
Aber Achtung: Achten Sie auf die Kühlung. Denn die Goldbeschichtung leitet viel Wärme in eine bestimmte Richtung – dadurch werden die Gehäuse der Lampe sowie die Halterungen der Wafer beeinflusst. Falls Ihre Lüfter oder Kühlsysteme nicht ausreichen, können die Geräte beschädigt werden. Stellen Sie sicher, dass Ihre Kühlung mit dem neuen Wärmefluss Schritt halten kann.
Einsetzen in Ihre Anlage
Wir haben diese Komponenten als Ersatzteile entwickelt. Es ist nicht notwendig, Ihre Maschine auseinanderzunehmen oder die Stromkreise umzubauen. Wir bieten verschiedene Anschlussmöglichkeiten an, sodass Sie die Komponenten einfach anschließen und weiterarbeiten können.
Letztendlich geht es um Effizienz: Jeder Watt sollte auf der Siliziumoberfläche sinnvoll genutzt werden. Wenn das der Fall ist, sinken die Zykluszeiten, die Produktionsgeschwindigkeit steigt – und alles läuft reibungsloser.