نگه داشتن اتاقهای تمیز در حالت تمیز، در طول فرآیندهای حرارتی
اگر هدف شما رعایت استانداردهای کلاس ۱۰۰ باشد، میدانید که چه کارهایی باید انجام شود. حتی کمترین مقدار گاز خروجی یا وجود چند ذره ناخواسته از عناصر گرمایشی، میتواند همه چیز را خراب کند. لامپهای معمولی مادون قرمز، معمولاً برای این کار مناسب نیستند؛ زیرا دارای ناخالصیهای سطحی یا مواد مانند رزینهای ارزانقیمت هستند که کارایی لازم را ندارند.
به همین دلیل، ما از کوارتز مصنوعی با خلوص بسیار بالا استفاده میکنیم. این روش، احتمال خطا را کاهش میدهد.
ویژگیهای کوارتز با خلوص بسیار بالا
ما از سیلیکا مصنوعی با خلوص بسیار بالا برای ساخت لامپهایمان استفاده میکنیم. تفاوت اصلی، میزان کمتر هیدروکسیل در این مواد است. به عبارت ساده، این بدان معناست که لامپ، پس از رسیدن به دمای اوج، هیچ ترکیبات آلی فراری تولید نخواهد کرد.
وقتی که با ویفرهای نیمههادی یا شیشههای نوری با کیفیت بالا کار میکنید، حتی یک ذره ریز نیز میتواند باعث ایجاد نقص شود. برای جلوگیری از این امر، ما لولههای UHP را از نظر شیمیایی تغییر داده و در شرایط خلأ قرار میدهیم تا سطح آنها کاملاً بیاثر باقی بماند.
مشکلات مربوط به توان لامپها
لامپهای UHP، تشعشعات کوتاهامواج غلیظی تولید میکنند. این مزیت بزرگی است، زیرا شما میتوانید قطعه کار را مستقیماً گرم کنید، بدون اینکه انرژی زیادی صرف گرم کردن هوا یا بدنه اطراف آن شود.
اما مشکلی وجود دارد: از آنجایی که این لامپها برای تولید این میزان تشعشع، دمای بسیار بالایی دارند، کوارتز نیز به شدت گسترش مییابد. اگر فاصله کافی بین لولهها وجود نداشته باشد، کوارتز تحت فشار خرد خواهد شد. بنابراین باید فاصله کافی برای حرکت مواد در نظر گرفته شود.
مشکلات دیگر
ما از اتصالات ویژهای برای حفظ استحکام لولهها استفاده میکنیم. اگر هوا وارد سیستم لامپ شود، اکسیژن وارد لولهها شده و فیلامنت لامپ سریعتر از حد معمول خراب خواهد شد.
یک نکته دیگر: کوارتز با خلوص بسیار بالا، کمی شکنندهتر از شیشههای معمولی است. این ماده میتواند در برابر شوکهای حرارتی مقاومت کند، اما نمیتواند در برابر ضربات فیزیکی مقاومت کند.
لطفاً، از دستکشهای بدون روکش استفاده کنید. حتی یک اثر انگشت نیز میتواند روغنی را به جای بگذارد؛ این روغن، پس از گرم شدن، منجر به ایجاد «نقاط گرم» میشود. این موضوع معمولاً باعث خرابی زودهنگام لولهها میشود، و این مشکلی است که واقعاً نیازی به آن نیست.