چرا ما به آزمایشهای عایقبندی در فرآیند خشک کردن ویفرها اهمیت میدهیم؟
لامپهای مورد استفاده برای خشک کردن ویفرها، دمای بسیار بالایی تولید میکنند. وقتی این لامپها در تجهیزات نیمههادی پیشرفته قرار میگیرند، آن بازتابندهها نقش مهمی در انتقال نور ایفا میکنند؛ در واقع، آنها بخش مهمی از مسیر الکتریکی هستند.
اگر عایقبندی این لامپها از بین برود، ممکن است کنترلکنندههای مربوطه خراب شوند؛ یا حتی، کل مجموعه ویفرها از بین برود. این وضعیت، کابوسی است که هیچکس نمیخواهد آن را تجربه کند.
چرا ما هر یک از لامپها را آزمایش میکنیم؟
ما از روش نمونهبرداری استفاده نمیکنیم؛ چون این روش، نوعی شانسبازی است. نمونهبرداری ممکن است باعث نادیده گرفتن لامپهایی شود که دارای ترکهای کوچک یا الکترودهای کثیف هستند. در عوض، ما هر لامپ و بازتابنده را تحت آزمایشهای مربوط به مقاومت الکتریکی قرار میدهیم.
روش کار این است: ما ولتاژ بسیار بالاتری را به لامپها وارد میکنیم؛ در واقع، سعی میکنیم لامپها را از بین ببریم. اگر نقطه ضعفی وجود داشته باشد، میخواهیم که آن نقطه ضعف در کارخانه ما شناسایی شود، نه در اتاقهای تمیز تولید. ما به دنبال جریانهای نشتی هستیم که ممکن است باعث ایجاد ارتعاش بین عناصر گرمایشی و بدنه لامپ شوند.
مقابله با گرما
لامپهایی با توان بالا، مقدار زیادی گرما در فضای بسیار کوچکی تولید میکنند. مواد مورد استفاده در ساخت لامپها نیز گسترش مییابند؛ در نتیجه، اگر عایقبندی لامپها برای این تغییرات مناسب نباشد، قدرت عایقبندی کاهش مییابد. ما از مواد با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ چون این مواد در دماهای بالا نیز عملکرد خوبی دارند.
یک نکته مهم: مطمئن شوید که سیستم زمینگیری دستگاهها کاملاً مناسب باشد. حتی با وجود آزمایشهایی که انجام میدهیم، دستگاههایی با زمینگیری ضعیف، میتوانند باعث ایجاد ولتاژهای نامطلوب شوند؛ این امر در بلندمدت، فشار زیادی بر عایقبندی لامپها وارد میکند.
واقعیت استفاده از لامپها
این لامپها طوری ساخته شدهاند که مستقیماً در دستگاههای خشککننده قرار بگیرند. میزان تنشهای ناشی از استفاده از این لامپها بسیار زیاد است؛ تقریباً هیچ فاصلهای بین ناحیه گرم و بدنه دستگاه وجود ندارد. به همین دلیل، در بازرسیهای کیفیت، ایمنی را بر سرعت ترجیح میدهیم. بله، آزمایش هر لامپ زمان بیشتری میبرد؛ اما این تلاش برای جلوگیری از خاموشی ناگهانی دستگاهها، ارزشمند است.