लिथोग्राफी प्रक्रिया में, ऐसा AFM हीटर जो अपने तापमान में उतार-चढ़ाव करता है, न केवल मापन प्रक्रिया में परेशानी पैदा करता है, बल्कि तापीय नियंत्रण को भी बिगाड़ देता है; इसके कारण वेफर बेकार हो जाते हैं। हमने अपने AFM हीटर को ऐसे ही डिज़ाइन किया है, जैसा कि प्रक्रिया इंजीनियरों को आवश्यक है – स्थिर एवं पुनरावर्ती तापमान, एवं ऐसा व्यवहार जो क्लीनरूम की परिस्थितियों को बिगाड़े नहीं।
तकनीकी दृष्टि से, महत्वपूर्ण बात यह है कि आप क्या माप सकते हैं। यह हीटर, वेफरों पर तापीय समानता को ±0.1°C के भीतर बनाए रखता है; इससे फोटोरेसिस्ट के सॉफ्ट/हार्ड बेकिंग प्रक्रियाएँ हर बार समान ही रहती हैं। यह हीटर क्लीनरूम क्लास 1–100 में भी काम कर सकता है, एवं इससे कोई कण भी उत्पन्न नहीं होता; यह बात संवेदनशील प्रक्रियाओं में बहुत महत्वपूर्ण है। यह हीटर 24/7 काम करने के लिए डिज़ाइन किया गया है, एवं इसकी विश्वसनीयता के कारण उत्पादन प्रक्रिया में कोई अनप्लान्ड डाउनटाइम नहीं होता। तापमान में पुनरावृत्ति भी बहुत ही सटीक है; इससे आपको मापन प्रक्रिया में कोई परेशानी नहीं होती।
AFM कार्यप्रणाली में यह बात बहुत ही महत्वपूर्ण है – तापमान की स्थिरता, प्रोब एवं नमूने के बीच की परस्पर क्रिया एवं मापन प्रक्रिया की पुनरावृत्ति पर सीधा प्रभाव डालती है। हमारा हीटर, निर्धारित तापमान को बनाए रखता है; इससे सामग्री के विश्लेषण एवं दोषों की जाँच में तापीय परिस्थितियाँ पूर्वानुमेय रहती हैं। इससे पुनर्परीक्षणों की आवश्यकता कम हो जाती है, चक्र समय भी कम हो जाता है… एवं उपकरण के तापमान में बदलाव होने पर भी मापन प्रक्रिया में कोई परेशानी नहीं होती। दक्षता, साफ तापीय संयोजन से ही प्राप्त होती है – कम अपशिष्ट ऊष्मा, एवं उपकरण के अंदर कम शीतलन लोड।
ऑर्डर देने سे पहले, यांत्रिक संरचना एवं विद्युत संबंधों की जाँच अवश्य करें। कनेक्टर का प्रकार, वोल्टेज एवं आयाम, अपने AFM उपकरण के वर्जन के अनुरूप होने चाहئें। हीटर, स्थिर वातावरण एवं शुद्ध विद्युत आपूर्ति में ही सबसे अच्छा काम करता है; यदि आपकी लाइन में वोल्टेज में उतार-चढ़ाव हो रहा है, तो लोकल लाइन कंडीशनर का उपयोग आवश्यक है। अपने फोटोरेसिस्ट स्टैक के अनुरूप बेकिंग प्रोफाइल को ठीक करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है।