Berhentilah memanaskan alat-alat Anda (dan mulailah memanaskan wafer tersebut saja)
Saat Anda memanaskan wafer, yang penting adalah agar energi panas hanya mengenai permukaan wafer saja. Anda tidak ingin energi panas tersebut tersebar ke tempat lain.
Masalah dengan lampu inframerah biasa adalah bahwa lampu tersebut memancarkan panas ke segala arah. Hal ini menyebabkan masalah, karena dinding-dinding peralatan yang mahal tersebut bisa menjadi terlalu panas, sehingga berpotensi merusak bagian-bagian sensitif yang ada di dalamnya.
Itulah sebabnya kita menggunakan sistem pemanasan yang terarah.
Bagaimana prinsip fisikanya bekerja
Bayangkanlah lampu kuarsa biasa sebagai bohlam yang memancarkan cahaya ke segala arah. Untuk mengatasi hal ini, kita menggunakan reflektor dan lapisan khusus yang berfungsi seperti corong. Reflektor tersebut membantu memfokuskan energi inframerah ke arah wafer. Karena sinar panasnya lebih terfokus, maka panas yang sampai ke dinding ruangan menjadi lebih sedikit. Dengan demikian, wafer dapat mencapai suhu yang diinginkan, sementara badan peralatan tetap dingin saat disentuh. Ini merupakan cara yang lebih efektif untuk memanaskan wafer.
Menemukan jarak yang tepat
Anda tidak bisa langsung meletakkan lampu berdaya tinggi tepat di atas permukaan wafer. Jika dilakukan begitu, akan terjadi lonjakan suhu yang berlebihan. Ada keseimbangan yang perlu diperhatikan: jika lampu terlalu dekat, densitas panasnya akan terlalu tinggi sehingga sulit bagi alat penahan lampu untuk menahannya. Namun, jika lampu terlalu jauh, energi akan terbuang sia-sia dan efisiensinya menurun.
Kita menentukan jarak yang tepat dengan memperhatikan daya lampu dan seberapa banyak pantulan cahaya yang terjadi pada wafer. Jika lampu didekati, panasnya akan lebih intens, tetapi hal ini akan memberikan tekanan yang besar pada sistem pendinginan. Anda harus memutuskan apakah Anda menginginkan proses pemanasan yang cepat atau peralatan yang tidak tertekan secara berlebihan oleh panas.
Kompromi yang harus diambil
Ini bukan solusi ajaib. Ada konsekuensinya. Saat Anda memfokuskan sinar panas, Anda harus mengorbankan cara pemanasan yang “aman” demi akurasi. Jika posisi lampu tidak tepat, bahkan hanya beberapa milimeter saja, maka akan terbentuk titik-titik panas dan suhu yang tidak merata di seluruh permukaan wafer.
Ini merupakan persoalan akurasi. Itulah sebabnya teknisi harus sangat berhati-hati dalam memasang lampu tersebut. Tidak boleh ada getaran sama sekali. Jika lampu bergetar, proses pemanasan akan gagal. Sangat sederhana.