Mengapa kita beralih ke metode pengeringan menggunakan sinar inframerah untuk proses pengolahan wafer
Sejujurnya, tidak ada yang suka menggunakan metode pengeringan berbasis pelarut atau katalis kimia yang rumit. Di dunia kita ini, konsep “ramah lingkungan” bukan sekadar kata-kata pemasaran yang tertulis di brosur saja. Itu merupakan persyaratan penting dalam merancang alat-alat yang digunakan. Itulah mengapa kita menggunakan metode pengeringan dengan sinar inframerah. Metode ini memanfaatkan radiasi elektromagnetik untuk mencapai tujuan tersebut—yaitu memicu proses polimerisasi atau penguapan—tanpa menimbulkan masalah tambahan.
Bagaimana prinsip kerjanya
Bayangkan oven konvensional biasa. Oven tersebut perlu memanaskan udara terlebih dahulu, sehingga prosesnya lambat dan tidak efisien. Sedangkan sinar inframerah berbeda. Energi panas langsung ditujukan ke permukaan wafer. Hal ini sangat menguntungkan, karena kita tidak perlu menggunakan sistem sirkulasi udara yang rumit. Kita hanya perlu menargetkan panas ke titik-titik tertentu pada permukaan wafer. Dengan begitu, energi yang digunakan menjadi lebih hemat.
Proses pembersihan setelah pengolahan
Metode pengeringan tradisional sering kali menggunakan pelarut yang mengandung bahan berbahaya serta zat penstabil berbasis timbal. Dengan metode sinar inframerah, kita bisa menghindari penggunaan bahan-bahan kimia tersebut. Karena panasnya langsung sampai ke permukaan wafer, kita bisa menggunakan resin tanpa kandungan halogen yang dapat dikeringkan menggunakan cahaya UV atau panas. Cara ini jauh lebih bersih. Wafer akan tetap kering, dan kita tidak perlu membuang gas beracun ke ruang kerja yang bersih. Ini tentu lebih aman.
Bagian-bagian yang sulit
Tapi, metode ini bukanlah sesuatu yang sempurna. Lampu inframerah berintensitas tinggi menghasilkan panas yang sangat besar. Hal ini bagus untuk mempercepat proses pengeringan wafer, tetapi panas yang dihasilkan perlu dikendalikan dengan baik. Jika sistem pendinginan tidak memadai, wafer bisa rusak atau muncul “titik panas” yang berbahaya. Kita perlu berhati-hati. Perlu ada keseimbangan antara daya lampu dan massa termal wafer, agar tepi-tepi wafer tidak rusak akibat panas yang berlebihan.
Kami telah merancang sistem ini agar bisa dipasang di tempat yang sama dengan sistem konvensional sebelumnya. Ukuran sistem ini lebih kecil, sehingga biaya listriknya pun berkurang. Pastikan sensor-sensornya berfungsi dengan baik, karena proses pengeringan berlangsung sangat cepat. Sangat cepat sekali.