リソグラフィーの現場では、温度というのは単なる細かい要素ではなく、プロセス自体を左右する重要な要素だとすぐに理解できます。わずか1度の温度変動でも、重要な寸法の制御が乱れてしまいます。一方、エッジ部分をより高温で加熱すると、フォトレジストの汚れやエッジビードが発生し、それが不良品や再作業の原因となります。コーティング/現像装置においても、熱的性能というのは単なる利便性のためのものではなく、必要不可欠な要素です。
技術的に重要な点
私たちが開発したコーティング/現像用赤外線ヒーターは、高度なフォトレジストの特性に合わせて設計されています。短波長のNIR素子を使用することで、熱を直接フォトレジストに伝えることができ、ウェハーに過度な熱ストレスを与えることなく、迅速に加熱が行われます。その結果、加熱プレート全体で±0.1℃以内の均一性が得られ、何千回ものサイクルを繰り返しても設定値が維持されます。
このシステムは、クラス1からクラス100のクリーンルーム環境にも対応しており、粒子の混入を防ぐように設計されています。ガスの放出がないことや、密閉型のヒーターボディによって、ソフトベイクやハードベイク時の汚染が防がれます。実際、これにより24時間365日安定して稼働し、予期しない停止がなく、また、ヒーターが迅速に冷却されるため、エネルギー消費も抑えられます。
なぜここで効果的か
生産用のコーティング/現像装置では、温度は部屋の環境ではなく、仕様通りに管理される必要があります。この赤外線ヒーターを使えば、加熱プロファイルが安定し、重要な寸法の均一性が保たれ、エッジビードも制御されます。その結果、サイクルタイムが短縮され、歩留まりの低下も避けられます。また、ヒーター本体が冷却されるため、メンテナンスの中断も少なくなります。加熱曲線が再現可能であるため、予期せぬ問題も起こらず、毎回同じプロファイルが得られます。
注意すべき点
このヒーターはほとんどのコーティング/現像装置に適合しますが、取り付け面積やマウント方法は装置のモデルによって異なります。取り付ける前には、機械的な隙間や冷却液の流れを確認し、取り付け後には簡単な再検証を行う必要があります。
湿度の高い環境で使用する場合は、コネクタの密封に注意が必要です。電気的な接続部分を乾燥させ、安定させるためのガスケットの使い方についてもご案内いたします。