コーター・デベロッパー用赤外線ヒーター

リソグラフィーの現場では、温度というのは単なる細かい要素ではなく、プロセス自体を左右する重要な要素だとすぐに理解できます。わずか1度の温度変動でも、重要な寸法の制御が乱れてしまいます。一方、エッジ部分をより高温で加熱すると、フォトレジストの汚れやエッジビードが発生し、それが不良品や再作業の原因とな...