なぜ金メッキ処理を施したツインチューブ形の赤外線硬化装置を使用するのか？ 半導体製造工場では、ミスの余地はありません。乾燥や硬化処理は完璧でなければならず、残留物が全くなく、何の言い訳も許されません。 問題は、従来の対流式オーブンは、基本的に巨大なエアヒーターに過ぎないということです。空気やチャンバーの壁を温めるために多くのエネルギーが無駄に使われてしまいます。これは非効率的です。そこで私たちは考えを変えました。部屋全体を温める代わりに、金メッキ処理を施したツインチューブ形の赤外線ランプを使用し、エネルギーを正確に基板に直接当てるのです。 秘密は金にあります。 通常の石英ランプは幅広い波長の光を放出しますが、そのほとんどはただ周囲に反射されるだけです。ツインチューブに金メッキを施すことで、長波長の光を取り除き、再び加熱要素に戻すのです。 これにより、ランプは短波長の赤外線を放出するようになります。短波長のエネルギーはフォトレジストや接着剤層の奥深くまで届くため、迅速に加熱されます。つまり、部品をより速く処理でき、床面積の半分を占める巨大な機械も不要になります。 頭痛の種をなくしながら環境に優しい 今では、「無鉛」や「環境に優しい」などの要求が高まっています。赤外線硬化装置は、まさにそのニーズに応えるものです。乾式の処理方式なので、溶剤ベースの媒体を使わず、VOCの排出も心配しなくて済みます。 さらに、ツインチューブ構造により、より多くの表面積を利用できます。危険なレベルまで出力を上げる必要がなく、目標の硬化温度に到達できます。必要な熱を得られつつ、基板が焼損したり、莫大な電力代がかかったりすることもありません。 現実的な課題 もちろん、これらは「プラグアンドプレイ」の部品ではありません。金メッキ処理を施したチューブは、非常に高い熱密度を持っています。 普通のケースに入れてしまうと、問題が発生します。冷却ファンやヒートシンクが十分な性能を発揮できないと、ランプの端が壊れてしまいます。 また、反射板を清潔に保つことも重要です。汚れがつくと、金メッキ層が機能しなくなり、処理速度が低下してしまいます。 結局のところ、私たちは大量生産ライン向けにこの装置を開発しました。1ワットでも無駄にすると、それは単なるコストの無駄になります。空気ではなく製品に熱を集中させることで、環境目標を達成しつつ、処理時間を遅らせることはありません。