熱処理の際にクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法 もしクラス100の基準を目指しているのであれば、どうすればいいかはよくわかっているでしょう。わずかなガスの放出や、加熱要素から発生する微粒子だけでも、全てを台無しにしてしまいます。通常の赤外線ランプでは不十分です。なぜなら、その表面には不純物や...

ファブの現場では、ソフトベイク時に0.5℃の温度変動があるだけで、潜在的な欠陥がフォトレジストに残ってしまいます。また、ハードベイクの温度が均一でない場合、時間の損失だけでなく、製品全体が台無しになってしまいます。そのため、加熱要素は何シフトにもわたり、何時間にもわたって安定して機能しなければなり...