熱処理の際にクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法
もしクラス100の基準を目指しているのであれば、どうすればいいかはよくわかっているでしょう。わずかなガスの放出や、加熱要素から発生する微粒子だけでも、全てを台無しにしてしまいます。通常の赤外線ランプでは不十分です。なぜなら、その表面には不純物や安価なシーラントが含まれており、信頼性に欠けるからです。
だからこそ、私たちは超純度の合成石英を使用します。これにより、不確実性を排除できます。
UHP石英の特徴
私たちが使用しているのは、高純度の合成融解シリカです。大きな違いは、ヒドロキシル基の含有量が少ないことです。つまり、ピーク温度に達した時でも、揮発性有機化合物を放出しないということです。
半導体ウェーハや高品質な光学ガラスを扱う場合、たった一つの微小な汚染物質でも欠陥となります。それを防ぐため、私たちはUHPチューブを化学的にエッチングし、真空で焼成することで、表面を完全に不活性化します。
電力と「余裕のある空間」の問題
このような高出力のUHPランプは、強力な短波放射を放出します。これは良い点です。なぜなら、空気や周囲のケースを温めることなく、直接ワークピースを加熱できるからです。
しかし、問題もあります。そのような高出力を得るためには、石英が大きく膨張します。もし装置のスペースが狭すぎると、石英が圧력で割れてしまいます。だから、材料が動けるだけの十分な余裕のある空間が必要です。
難しい点
シールをしっかりと維持するために、専用のコネクタを使用します。もし空気がハロゲンサイクル内に漏れ込むと、酸素が入り込み、フィラメントが予想以上に早く壊れてしまいます。
もう一つ注意点があります。UHP石英は、普段使っているドープされたガラスよりももう少しもろいのです。熱衝撃には耐えられますが、物理的な衝撃には耐えられません。
そして、どうぞノンウォッシュグローブを使用してください。たった一つの指紋でも油分が残ります。その油分が石英に混入すると、「ホットスポット」が生じます。これが原因でチューブが早期に故障することがあります。これは避けたいことです。