なぜ私たちが従来のオーブンを使わず、赤外線による硬化処理を採用するのか？ 正直言って、従来の対流式オーブンは非効率的です。それは巨大な加熱装置であり、ウェーハを乾燥させるだけで莫大なエネルギーが消費されます。大量の空気を温めて循環させ、適切な場所に熱が届くのを待つ必要があります。これは遅くて面倒で...

なぜ、古いバスルーム用のヒーターをIP44指定の赤外線ヒーターに交換するのか？ 正直に言うと、昔のバスルーム用ヒーターはかなり使いにくいものでした。まぶしい光を放つタイプのものもあれば、空気を温めるタイプのものもありますが、どちらも効果が遅いです。 だからこそ、多くの人々がIP44指定の赤外線ヒー...

バスルームで赤外線ヒーターを正常に動かし続けるために 正直言って、バスルームというのは電子機器にとっては最悪の環境です。至る所に蒸気があり、水滴が飛び散り、さらには微細な隙間からも結露が入り込んできます。 もし赤外線ランプがそのような過酷な環境に対応していない場合、短絡が起こるのは時間の問題です。...

コストの話を抜きにして考えましょう。ここで語られているのは、半導体ウェーハの酸化処理に使われる高価な輸入品に代わるものとして使える、国内で製造された赤外線加熱ランプのことです。 実際の問題は単純です。これらのランプは本当にその役割を果たせるのか？交換しただけで正常に動作するのか？ マーケティング上...

製造現場において、焼成工程は製品の歩留まりを左右する重要なステップです。ソフトベイクやハードベイクの温度が2°C変わるだけで、ウェーハの寸法に影響が出ます。また、加熱中に発生する微粒子がウェーハを損傷させる可能性もあります。そうした不安定要因を排除するために、私たちはウェーハを加熱する際の支持構造...

ファブの現場では、ソフトベイク時に0.5℃の温度変動があるだけで、潜在的な欠陥がフォトレジストに残ってしまいます。また、ハードベイクの温度が均一でない場合、時間の損失だけでなく、製品全体が台無しになってしまいます。そのため、加熱要素は何シフトにもわたり、何時間にもわたって安定して機能しなければなり...