クリーンルーム用オーブン 赤外線ヒーター

なぜクリーンルーム用のオーブンで対流加熱をIR加熱に置き換えるのか？ 半導体工場で働いたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。正確な温度制御が必要ですが、ほんの少しのほこりでもウェーハの品質を損なってしまいます。 長い間、私たちは従来の対流式オーブンを使ってきました。しかし、巨大な空間全...