팹 램프용 석영 유리 실드

팹 내에서는 포토레지스트의 건조 성능에 대해서는 논의의 여지가 없습니다. 이는 나노미터 단위로 측정됩니다. 0.5°C만큼의 온도 변화라도 치명적인 결과를 초래할 수 있으며, 그렇게 되면 많은 웨이퍼가 낭비됩니다. 팹 내의 램프를 보호하기 위해 석영 유리로 만들어진 실...