Op de lithografieafdeling is een AFM-verwarmer die niet stabiel werkt, niet alleen een probleem voor de metingen. Het beïnvloedt ook de controle over de thermische omstandigheden en zorgt er daardoor voor dat de wafers niet meer bruikbaar zijn. Wij hebben onze AFM-verwarmer zo ontworpen dat deze voldoet aan de behoeften van procesengineers: een stabiele en reproduceerbare temperatuur vlak bij de sonde, en een werking die past binnen de vereisten van een zuiverruimte.
Wat technisch gezien belangrijk is, is wat je kunt meten. De verwarmer houdt de thermische uniformiteit op het niveau van de wafels op een niveau van ±0,1°C. Hierdoor blijven de profielen van het verwarmen van de fotoresist consistent, run na run. De verwarmer kan worden gebruikt in zuiverruimten van klasse 1 tot 100, en produceert geen vuildeeltjes. Dit is belangrijk wanneer je wilt voorkomen dat er fouten optreden in gevoelige processtappen. De verwarmer is ontworpen om 24/7 te werken, met betrouwbare prestaties, zodat er geen onverwachte stilstanden optreden tijdens het productieproces. De temperatuurreproduceerbaarheid blijft hoog, zodat je geen last hebt van fluctuaties wanneer je de apparatuur kalibreert.
Dit is belangrijk in het AFM-proces: temperatuurstabiliteit heeft rechtstreeks invloed op de interactie tussen de sonde en het monster, en op de reproduceerbaarheid van de metingen. Onze verwarmer houdt de ingestelde temperatuur vast, zodat de thermische omstandigheden voorspelbaar blijven tijdens het karakteriseren van materialen en het controleren op defecten. Er zijn minder hercontroles nodig. De cyclustijd wordt verkort. En de kalibratieverificaties zijn nauwkeuriger, omdat de temperatuur niet elke keer verandert wanneer de apparatuur opwarmt. Efficiëntie wordt bereikt door een goede thermische koppeling – minder warmteverlies en minder koeling nodig.
Voor het plaatsen van een bestelling, moet je ervoor zorgen dat de mechanische specificaties en de elektrische interface overeenkomen met die van je AFM-apparaat. Controleer de type van de connector, de spanning en de afmetingen tegenover de specificaties van je apparaat. De verwarmer presteert het beste onder stabiele omstandigheden en met schone stroom. Als je lijn last heeft van grote spanningsschommelingen, moet je rekening houden met een lokale spanningstoerenhelder. Plan ook een kort testproces in, zodat je de juiste instellingen kunt bepalen voor het verwarmen van de fotoresist.