ในเส้นที่มีความยาว 300 มิลลิเมตร การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียงครึ่งองศาเซลเซียสระหว่างกระบวนการอบวัสดุโฟโตรีซิสต์ก็เพียงพอที่จะทำให้ขนาดของชิ้นงานเพี้ยนไปได้ และอาจทำให้ชิ้นงานทั้งหมดในล็อตนั้นเสียหายได้ เราจึงสร้างเครื่องทำความร้อนจากคาร์บอนนาโนทิวบ์ขึ้นมา เพื่อให้อุณหภูมิคงที่ตลอดกระบวนการผลิต โดยไม่มีข้ออ้างใดๆ
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เครื่องทำความร้อนนี้ใช้คาร์บอนนาโนทิวบ์เป็นส่วนประกอบ ดังนั้นจึงสามารถตอบสนองได้อย่างรวดเร็วและคงที่ ทำให้ได้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนพื้นผิววงแหวนได้ในช่วง ±0.1°C และยังมีความสม่ำเสมอในการทำซ้ำกระบวนการอีกด้วย นั่นคือสิ่งที่ช่วยให้กระบวนการอบวัสดุมีความสม่ำเสมอตลอดไป
นอกจากนี้ โครงสร้างของเครื่องทำความร้อนนี้ไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ เลย ซึ่งเหมาะสำหรับการใช้งานในห้องปลอดฝุ่นระดับ 1–100 และวัสดุที่ใช้ก็ถูกเลือกมาเพื่อให้มีการปล่อยก๊าซออกมาน้อยที่สุด แม้ในกระบวนการอบซ้ำๆ ก็ตาม ในทางปฏิบัติ นั่นหมายถึงมีข้อบกพร่องน้อยลง มีการควบคุมขนาดของชิ้นงานได้ดีขึ้น และมีอัตราการใช้พลังงานที่แน่นอน
เหตุใดสิ่งนี้จึงสำคัญในกระบวนการลิโทกราฟี ในกระบวนการลิโทกราฟีและการประมวลผลโฟโตรีซิสต์ อุณหภูมิไม่ใช่เพียงแค่ตัวแปรพื้นหลังเท่านั้น แต่เป็นส่วนสำคัญของกระบวนการเลยทีเดียว เครื่องทำความร้อนนี้ช่วยให้อุณหภูมิคงที่ ทำให้ความกว้างของเส้น มุมของผนังด้านข้าง และความหนาของฟิล์มที่เหลืออยู่อยู่ในเกณฑ์มาตรฐาน และช่วยให้เราไม่ต้องทิ้งวงแหวนที่มีคุณภาพดีไปเพื่อนำมาปรับปรุงใหม่
เครื่องทำความร้อนนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง โดยไม่มีช่วงเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิด และข้อมูลจากการใช้งานจริงแสดงให้เห็นว่าไม่มีการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิในช่วงเวลาที่ยาวนาน ซึ่งเป็นสิ่งที่จำเป็นสำหรับการผลิตในปริมาณมาก นอกจากนี้ เนื่องจากเครื่องทำความร้อนนี้ตอบสนองได้อย่างรวดเร็ว จึงช่วยลดเวลาการรอให้น้อยลง และช่วยลดต้นทุนการผลิตต่อวงแหวนได้
สิ่งที่คุณต้องทำให้ถูกต้อง การติดตั้งเครื่องทำความร้อนนี้ค่อนข้างง่าย แต่คาร์บอนนาโนทิวบ์มีข้อจำกัดด้านอุณหภูมิที่เข้มงวด ดังนั้นคุณจำเป็นต้องปรับแต่งเครื่องควบคุมให้เหมาะสม เพื่อให้ได้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่ดีที่สุด
คุณควรมีการทดลองใช้งานเป็นเวลาสั้นๆ เพื่อปรับแต่งค่า PID และตรวจสอบความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในทุกรูปแบบการทำงาน