ในกระบวนการลิโธกราฟี ขั้นตอนการอบร้อนนั้นไม่ใช่เพียงการเตรียมพร้อมเท่านั้น แต่ยังเป็นขั้นตอนสำคัญที่ช่วยให้สารโฟโตรีซิสต์อยู่ในตำแหน่งที่ถูกต้อง โดยจะช่วยขจัดสารละลายที่ใช้ในการผลิตออกไป และกำหนดค่าอุณหภูมิที่เหมาะสมสำหรับการผลิตต่อไป หากเครื่องอบร้อนไม่สามารถทำหน้าที่ได้อย่างมีประสิทธิภาพ ก็จะเกิดปัญหาเรื่องความหนาที่ไม่สม่ำเสมอ มีตะกอนที่ขอบวัสดุ และความคลาดเคลื่อนในการสัมผัสกับแสง ซึ่งจะส่งผลให้ต้องมีการทำงานซ้ำ มีวัสดุที่สูญเปล่า และผลผลิตที่ไม่สม่ำเสมอ
สิ่งที่สำคัญในกระบวนการผลิต เราออกแบบเครื่องอบร้อนให้ใช้พลังงานอินฟราเรดที่สามารถควบคุมได้ โดยปรับให้เหมาะสมกับช่วงความยาวคลื่นที่สารละลายสามารถดูดซับได้ ทำให้พลังงานถูกส่งไปยังวัสดุโดยตรง โดยไม่ทำให้ด้านหลังของวัสดุร้อนเกินไป นอกจากนี้ เรายังควบคุมอุณหภูมิให้อยู่ในช่วง ±0.1°C และรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในแต่ละครั้งที่ผลิต โดยแบ่งโซนที่มีอุณหภูมิสูงออกจากโซนอื่นๆ เพื่อป้องกันไม่ให้ความร้อนแพร่ออกไป และป้องกันไม่ให้สารเคมีอื่นๆ ถูกทำลาย
มาตรฐานของห้องปลอดฝุ่น วัสดุที่ใช้ในการผลิตต้องเป็นวัสดุที่เหมาะสมตามมาตรฐาน Class 1–100 มีการปล่อยก๊าซน้อย และมีการควบคุมอนุภาคให้อยู่ในระดับที่เหมาะสม เพื่อป้องกันไม่ให้มีสิ่งสกปรกเข้ามาทำลายวัสดุ และเครื่องอบร้อนจะทำงานตลอด 24/7 โดยมีความเสถียรของพลังงานที่สูง โดยมีการใช้งานมาแล้วมากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีความเสียหายน้อยกว่า 5%
เหตุผลที่สำคัญในการผลิต ในกระบวนการผลิต สิ่งที่ได้รับจากการอบร้อนที่มีประสิทธิภาพคือความสม่ำเสมอของขนาดวัสดุ และลดปัญหาที่เกิดขึ้นได้ ด้วยอุณหภูมิที่ควบคุมได้ดี จะช่วยให้สามารถลดเวลาการอบร้อนได้ โดยไม่ส่งผลต่อคุณภาพของวัสดุ นอกจากนี้ ยังช่วยประหยัดพลังงาน เพราะความร้อนจะถูกส่งไปยังจุดที่ต้องการเท่านั้น ไม่ได้แพร่ออกไปทั่วห้องผลิต
ข้อควรระวังในการติดตั้ง การติดตั้งต้องคำนึงถึงปัจจัยด้านความร้อนและแรงกดดันด้วย เครื่องอบร้อนจะทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพก็ต่อเมื่อพื้นผิวที่อบอยู่เรียบ สะอาด และอยู่ในตำแหน่งที่ถูกต้อง หากมีการติดตั้งที่ไม่เหมาะสม ก็จะทำให้เกิดความไม่สม่ำเสมอของอุณหภูมิ ควรมีเวลาในการอุ่นเครื่องก่อนเริ่มการผลิต และต้องให้ปริมาณสารละลายอยู่ในช่วงที่กำหนดไว้
การปรับเทียบเครื่องอบร้อน ควรมีการปรับเทียบเครื่องอบร้อนเป็นระยะๆ เพื่อรักษามาตรฐานอุณหภูมิที่ ±0.1°C ไว้ เพราะความแม่นยำนั้นไม่สามารถรักษาไว้ได้ด้วยตัวเอง