
在热处理过程中保持洁净室的清洁度
如果您希望达到100级洁净标准,那您就必须要了解相关要求。哪怕是极微量的气体释放或来自加热元件的颗粒物,都可能破坏整个洁净环境。普通的红外灯根本无法满足这一要求——因为它们的表面存在杂质,且密封材料质量较差,因此无法有效实现洁净效果。
正因如此,我们才选择使用超高纯度的合成石英材料。这样就能确保不会产生任何问题。
超高纯度石英的优点
我们使用的照明灯采用的是高纯度的合成熔融石英。其最大的优点就是羟基含量极低。简单来说,这意味着当灯光达到最高温度时,它不会释放出任何挥发性有机化合物。
在处理半导体晶圆或高端光学玻璃时,哪怕只有微小的杂质存在,都会导致产品缺陷。为避免这种情况,我们会对超高纯度石英管进行化学蚀刻和真空处理,从而使其表面保持完全惰性状态。
功率与“空间问题”
这些高功率的超高纯度石英灯会发出强烈的短波辐射。这很好,因为这样可以直接对工件进行加热,而无需浪费能量去加热周围的空气或外壳。
不过,这也带来一个问题:由于需要产生如此高的温度,石英材料会急剧膨胀。如果安装空间不足,石英材料就会因为压力而破裂。因此,必须留出足够的空间让石英材料有足够的伸缩空间。
其他注意事项
我们使用专门的连接器来确保密封性。如果空气进入卤素循环系统,氧气就会进入,从而导致灯丝过早熄灭。
另外,超高纯度石英比普通掺杂玻璃更易碎。虽然它能很好地承受热冲击,但却无法承受物理上的撞击。
最后,请务必使用无绒手套。因为哪怕只有一个指纹,也会留下油脂。一旦这些油脂渗入石英材料中,就会形成“热点”,进而导致灯泡过早损坏。这无疑是一件麻烦事。